上海载德半导体技术有限公司

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四探针测试仪
产品详情

产地:美国

型号:A4P-200

技术规格:

1. 面电阻量测范围: 1 mΩ/sq. to 2 MΩ/sq.(或更高)

2. 样品尺寸:支持10mm300mm wafer

3. 量测系统包括:Jandel RM3000测试单元

4. 测试精度:0.05% at 23

5. 温度可变范围:-100 ~ 200

6. 软件操作简单可以支持with Windows XP, Windows 7 Windows 8操作系统,USB2.0 USB3.0接口

7. 可选择量测晶圆上1, 5, 9, 25, 49, or 121个测试点或者自定义量测图

8. 可绘制2D3D数据结果图

9. 输出电阻,电阻率和厚度等量测结果

10. 系统支持JANDEL探测头,插入式更换,操作简单


产地:韩国

型号:RMS-1000

技术规格:

1. 输入电流  Input current: 1nA ~ 20mA ( Easily check “Contact fail”);

2. 电阻率测量范围  Resistivity range: 10exp-4 ~ 10exp7 Ωcm;

3. 可测量阻抗(Ω)、表面电阻(Ω/sq)、电阻率(Ω.cm)等数据  

4. 可得到I-V I-R曲线  

5. 完整的仪器控制与数据分析软件

6. QPP探针:

Inter-pin distance 1.5mm, pin points 0.26R, spring pressure 70g/pin

7. 可选配温控模块:Temp: RT ~300 c° controlAccuracy: +/-0.1 c°.


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