上海载德半导体技术有限公司

 English 中文

产品中心

Products Center

导航

Navigation

 
霍尔效应测试仪
 
快速退火炉
 
探针台
 
真空镀膜机
 
半导体工艺设备
 
半导体测试设备
 
低温/磁场系统
 
其它表征设备
薄膜测厚仪
产品详情

产地:美国

型号:MProbe;


通过反射干涉的原理测量薄膜的厚度是一种快速、无损精确、且可同时测量多层薄膜厚度的薄膜厚度测量技术。我司的该款光学薄膜测厚仪是一款价格低廉、功能强大的膜厚测量仪器。该产品的全球销量超过200台。

根据型号不同,测量范围可以从1nm到1000um。该产品可应用于在线膜厚测量、测氧化物、SiNx、感光保护膜和半导体膜也可以用来测量镀在钢、铝、铜、陶瓷和塑料等上的粗糙膜层。


应用领域:

- 非晶多晶硅;

- 多孔硅;

- 硅晶圆薄膜;

- CMP;

- 电介质;

- 玻璃和塑料厚度;

- 硬质涂层厚度;

- IC故障分析;

- 铟锡氧化物与透明导电薄膜;

- 金属厚度测量;

- Oled;

- 光刻胶;

- 制程薄膜;

- 折射率,消光系数;

- 光伏太阳能电池;

- 卷式涂层;

- 半导体教学实验;

等等


技术规格特点

- 波长范围:200nm~1700nm;

- 膜厚范围:1nm~1mm;

- 光斑尺寸:3mm~3um;

- 精度:<0.01nm或0.01%;

- 准确度:<0.2%或1nm;

- 稳定性:<0.02nm或0.03%;

- 实时测量:厚度,吸收系数,折射率,粗糙度等;

- 开放的数据库:超过500种材料,新材料可添加;

- 灵活性:台式离线测量,原位测量,在线测量;

等等...


参考用户:

北京科技大学、上海交通大学、香港城市大学等.

在线留言
 
 
内容*
姓名*
电子邮箱*
联系电话*
单位名称*
验证码*
看不清?换一张