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热蒸发镀膜机
产品详情


产地:英国、韩国;

型号:VS3,EasyDEP


通过加热蒸发某种物质使其沉积在固体表面,称为蒸发镀膜,热蒸发镀膜技术是历史最悠久的PVD镀膜技术之一。蒸发镀膜机一般主要用于蒸发CdPbAgAlCuCrAuNi等材料。以下为蒸发镀膜设备的示意图。


                           



技术规格特点:

- 基底尺寸:4英寸,6英寸,8英寸

- 基底旋转:0~10rpm;

- 热蒸发源:4英寸或6英寸热蒸发舟,交流电源;

- 腔体:铝合金或不锈钢材料可供客户选择,不同尺寸的箱式腔室可选;

- 泵:机械泵,扩散泵或者分子泵,供客户选择;

- Load Lock样品传输腔室:手动或自动传输,高真空,支持多种样品衬底;

- 工艺控制:PC/PLC机制的自动控制,使用GUI进行工艺控制、数据处理、远程支持;

- 原位监控:石英晶振监测(QCM),光学监测,残余气体分析,其他原位监测技术或控制;

- 衬底固定:单衬底固定,多衬底固定,行星式衬底固定,客户化衬底固定方式;

- 衬底夹具:加热,冷却,偏置,旋转等;


参考用户:

  广东工业大学等;

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