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电子束蒸发镀膜机
产品详情


产地:韩国、英国;

型号:SEE-5, VS4


电子束蒸发是真空蒸镀的一种,它是在钨丝热蒸发的基础上发展起来的技术。电子束蒸发镀膜机可以蒸发高熔点材料,比一般热蒸发镀膜机的热效率高、束流密度大、蒸发速度快,制备的薄膜纯度高、质量好,薄膜的厚度可以较准确地控制。


技术规格特点:

- 电子束源:四袋或六袋电子束枪;

- 电子束电源:6KW

- 腔体:铝合金或不锈钢材料可供客户选择,不同尺寸的箱式腔室可选;

- 泵:分子泵,冷凝泵可选;

- Load Lock样品传输腔室:手动或自动传输,高真空,支持多种样品衬底;

- 工艺控制:PC/PLC机制的自动控制,使用GUI进行工艺控制、数据处理、远程支持;

- 原位监控:石英晶振监测(QCM),光学监测,残余气体分析,其他原位监测技术或控制;

- 衬底固定:单衬底固定,多衬底固定,行星式衬底固定,客户化衬底固定方式;

- 衬底夹具:加热,冷却,偏置,旋转等;

- 离子源:衬底预先清洗辅助沉积,纳米尺度表面修饰;


参考用户:

     广东工业大学、华中科技大学、厦门大学等.



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