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VPO-300快速退火炉(12英寸X12英寸)
VPO-300快速退火炉(12英寸X12英寸)
产品详情

产地:德国尤尼坦;
型号:VPO-300,VPO-200;

VPO-300为德国Unitemp进口的高品质快速退火炉。台式设计,配备了人机界面,全自动控制,优异的温控均匀性和热处理重现性,适合科研、工艺开发和生产。

VPO-300适合12英寸晶圆或者300mm x 300mm尺寸的样品退火,适用于大尺寸太阳能电池片的快速退火。
VPO-300快速退火炉给12英寸晶圆退火,可以保证整片晶圆的温控均匀性 1.5%!

技术规格:

- 最高温度:1000摄氏度;

- 升温速率:40摄氏度/秒;

- 降温速度:200摄氏度/分钟;

- 温控均匀性: 1.5%设定温度;

- 加热方式:红外卤素灯,顶部及底部加热;

- 灯管数量及功率:48支/36千瓦;

- 腔体冷却:水冷方式;

- 衬底冷却:氮气吹扫;

- 工艺气路:MFC控制,最多3路 (氮气、氩气、氧气、氢氮混合气等);

- 主机尺寸及重量:505mm x 504mm x 830mm (W x D x H),约100Kg;


仪器特点:

- 真空快速退火炉,有低真空型号(10-3 hPa)、高真空型号(10-6 hPa);

- 可在不同气氛环境下使用,如惰性气体、氧气、氢氮混合气等;

- 控制方式:SIMATIC, SPS人机界面控制,7英寸触摸屏;

- 可存储50个程序,每个程序最多分为50段控制;

- 全自动智能控制,包括温度、时间、气体流量、真空度、循环水均可自动设置;

- 优异的温控均匀性,极佳的工艺重现性;

- 台式设计,不占用太大空间;


应用领域:

- 离子注入/接触退火;

- 快速热处理(RTP),快速退火(RTA),快速热氧化(RTO),快速热氮化(RTN);

- 可在真空、惰性气氛、氧气、氢气、混合气等不同环境下使用;

- SiAu, SiAl, SiMo合金化;

- 低介电材料;

- 晶体化,致密化;

- 太阳能电池片键合;

等等...


参考用户:

中科院上海技术物理研究所、中电13所、西安炬光等...


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