上海载德半导体技术有限公司

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OLED制备系统
OLED制备系统
产品详情


产地:韩国

我们提供OLED的完整工艺系统,也可协助用户进行进一步的工艺开发。


技术规格特点:

- 线性排列的Oled沉积系统;

- 多源沉积;

- 预处理腔:O2, CF4 等离子;

- 沉积腔#1:有机发光材料(Organic EL)沉积;

- 沉积腔#2:金属沉积;

- 手套箱;

- 封装:紫外固化;

- 衬底传输模块:使用磁性传输杆(MTR);

- 光刻;

- 厚度控制;

- 选配的衬底加热;

- 高电导真空泵;

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