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二维材料生长系统(Graphene, h-BN, MoS2, CNT等)
产品详情

产地:英国

型号:SmarTube 210, CompacTube110


二维材料是伴随着2004年曼切斯特大学Geim小组成功分离出单原子层的石墨烯而提出的。石墨烯突出的特点是单原子层、高载流子迁移率、线性能谱、强度高。后续又有一些其他的二维材料陆续被广泛研究,如六方氮化硼(h-BN)、二硫化钼(MoS2)、二硫化硒(SeS2)、黑磷等。

有多种方法可以制备二维材料,其中热化学气相沉积法(TCVD)可以快速得到高品质、大面积的二维材料,且成本较低,目前广泛被采用。


技术规格特点:

1.   石英管及工艺炉 QUARTZ TUBE & FURNACE

-  石英管尺寸:ф100 * 1200mm (其他规格可选);

-  炉体尺寸(WxHxD):500mm x 500mmx 350mm;

-  加热器:Kanthal Wire w/ Glass Wool Molding;

-  工艺温度:1,100°C (其他高温模块可选);

-  热电偶:K型,ID 6.5mm;

-  加热区域:1-zone, ф100*350mm(多区域加热可选);

-  线性移动控制单元;

-  手动炉门;

2.   气路

-  标配工艺气路,质量流量计自动控制,三路(以石墨烯生长为例)

      a) 氢气(H2), 100sccm

     b)  烷(CH4), 200sccm

     c) 氩气(Ar): 1,000sccm

     d) 预留第四路工艺气路

-   0.25”不锈钢管路;

-   五套0.25”气动隔膜阀;

3.   真空及压力控制

-   对流真空规及控制器(Convection Gauge);

-   10Torr电容压力计;

-   马达控制的节流阀;

-   压力计流量控制器;

-   旋叶泵(340L/M);

4.   系统控制单元

-   内嵌计算机控制,Windows 7系统;

-   PLC控制模块,配备Labview软件界面;

-   19” LCD显示器;

5.   安全及冷却

-   法兰水冷设计;

-   蜂鸣器警报及系统错误显示;

-   安全内锁系统

6.   设备尺寸及实验室要求

-   占地尺寸:1.75m (W) x 1.60m (H) x 0.75m (D);

-   重量:~200kg;

-   电源:220V, 50/60Hz, 3Φ, 4-wire, 30A;

-   压缩空气:4-5kgf/cm2, 0.25” tube;

-   冷却水:2-3kgf/cm2, 0.25” tube;


参考用户:

剑桥大学,牛津大学,曼彻斯特大学,莱斯大学,斯坦福大学,新加坡国立大学,日本东京技术研究所,东京大学,韩国东国大学等...


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